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ISSN1001-3806CN51-1125/TN 网站地图

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准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究
钱晓峰, 陈涛, 祁恒
2007, 31(3): 262-264.
关键词: 光学设计与制造, 变焦物镜, 光线追迹, 准分子激光